高速插片
高速插片
方案概述
ALD/扩散插片，采用ER35B-1810-LI机器人，适用于太阳能硅电池片生产中石英舟、铝舟的全自动机器人装卸片。
PECVD镀膜插片，采用高速高精ER15-1430-MI机器人，适用于太阳能硅电池片生产中石墨舟的全自动机器人装卸片。
案例特点
1. 可靠性
硅片取放可靠性高，降低硅片破碎率及划伤，良品率＞99.975%
2. 高精度
机器人高刚性本体，满足插片高精度要求。
3. 高产能
满足插片设备产能要求，兼容182/210电池片， ALD/扩散插片产能＞13000pc/h，PECVD镀膜插片产能＞9000pc/h
